软管泵在半导体行业中的应用

软管泵在半导体行业中的应用

       半导体生产需要消耗大量的水和能源，其中大部分将作为废水进行处理和排放。随着制造商寻求扩大生产、建造新的设施来满足前所未有的需求，业内人士必须认识到，高效地进行废水处理至关重要。

       半导体制造涉及广泛而复杂的渣浆和化学品，需要采用严格的废水分离、处理和回收系统。处理这些渣浆，包括金属和其它有害废弃物质，可能会遭遇诸如实施环保法规如中国废水排放标准所包含的巨大成本等挑战。

       半导体生产涉及的化合物包括用于清洁和蚀刻光敏元件的氢氟酸以及用于冲洗的氨、氟化铵、过氧化氢和盐酸、硫酸和磷酸。清洗半导体晶圆是生产过程中用水最密集的部分，产生的含氟废水需要用石灰中和。

       中国一家新建半导体工厂主要生产家用电器用半导体。该公司采用了一系列软管泵泵送氢氧化钙/石灰。该泵被用作将生产过程中的高磨蚀性溶液全天候地以4-5巴的排放压力通过管道传输一定的距离。